Gerätetyp Tischgerät mit PC und Monitor - Tisch optional -
Optischer Aufbau Unendlich-endliche Konjugate
Max. Raumfrequenz 600 lp/mm
Genauigkeit MTF auf Achse** 1% MTF (bis zu 250 l mm)
Genauigkeit MTF außerhalb der Achse** 2% MTF
Genauigkeit EFL (effektive Brennweite) 4 μm
Genauigkeit FFL (Flanschbrennweite) 5 μm
Anzeige der Messzeit auf der Achse 1,5 s/Probe
Messzeitanzeige alle Achsen 1,5 s/Probe
Probendurchsatz (Einheiten pro Stunde)*2340 UPH
DOF-Schärfentiefe*** 3 μm
Neigung der Bildebene*** 0,02°
Azimut-Neigungsrichtung***
Lichtquelle weiße LED
Filter VIS (NIR optional) - alle Filter möglich - Standard Photopic Eye Filter -
Messpunkte 49 (25 Feldpositionen / Kameras)
Abmessungen (Höhe x Breite x Tiefe) 905 mm x 620 mm x 650 mm
Gewicht 92 kg
Größe des Trays / Scan-Tisch-Hubs Tray 140 mm x 140 mm
Tray 3-Punkt-Kinematik-Tray mit zertifizierter Referenzebenheit
Probe Qualitätsklassen 4 Qualitätsklassen
Reinraumklasse FS 209 / ISO 14644-1 1000 / ISO 5
ACM Austauschbarer Autokollimator
Kamera USB 3.0

* 1 Tray mit 148 Prüflingen / Traywechselzeit 5 Sek.
** Die Genauigkeit wird anhand der MTF-Spitzenwerte gemessen
*** Die Genauigkeit hängt von des Prüflings, der Prüflingsneigung, der Anzahl der Schritte, der Prüflingsdrehung und der Anzahl der Teleskope ab