Produktbroschüre
µPhase® 3 (Englisch)
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µPhase® & µShape (Deutsch)
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µShape 8 (Englisch)
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µPhase® Objective (Englisch)
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µPhase® OptoFlat (Englisch)
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µPhase® Multicolor (Englisch)
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µPhase® PLANO DOWN (Englisch)
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µPhase® PLANO UP / µPhase® SPHERO UP (Englisch)
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Phase® ST / µPhase® ST+R (Englisch)
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µPhase® VERTICAL (Englisch)
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Phase® VERTICAL PRO (Englisch)
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Whitepaper
Automatisierte Messung von Kontaktlinsenformen und Werkzeugen (Englisch)
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µPhase®
Interferometer zur Messung der Oberflächen- und Wellenfrontdeformation
μPhase® Interferometer erlauben die schnelle und hochpräzise Messung der Oberflächen- und Wellenfrontdeformation reflektierender und transmittierender Bauteile aus Glas, Kunststoff, Metall, Keramik, o. ä. Die objektiven und zuverlässigen Ergebnisse erfüllen die höchsten Anforderungen des Qualitätsmanagements. Durch das berührungslose Messverfahren können Beschädigungen des Prüflings ausgeschlossen werden.
Download area
Im Kundenbereich finden Sie alle Downloads rund um die µShape-Software, wie zum Beispiel Flyer, die µShape-Demosoftware und Beschreibungen zu den verschiedenen µShape Features und Add-on Modulen, sowie Installations- und Konfigurationsanleitungen und die aktuellsten Support-Releases. Außerdem enthält er eine umfangreiche Knowledge Base mit Application Reports rund um die µShape Software und die µPhase® Kompaktinterferometer. Die Anmeldung erfolgt über Ihre Donglenummer.
Fernwartung
Unser Support-Team nutzt TeamViewer QuickSupport um Sie bei Problemen mit Ihrem Interferometer per Fernwartung zu unterstützen. Das Tool können Sie hier herunterladen: TRIOPTICS Berlin QuickSupport
Produktübersicht
μPhase® Interferometer sind sehr kompakt gebaute, kleine und leichte digitale Geräte, die sich in nahezu jeder Arbeitsumgebung verwenden lassen. Unterstützt durch die Software μShape lassen sich umfangreiche Messauswertungen vornehmen. Die Grundlage der Interferometriemessung bei TRIOPTICS bietet der μPhase®-Sensor. Dieser ist, entsprechend den unterschiedlichen Messaufgaben, modular mit verschiedenen Messdurchmessern und Stativen konfigurierbar. Ebenso können kundenspezifische Lösungen kostengünstig angeboten werden.
µPhase® 3.1/3.2/3.3.
Hoch flexibel
Der Twyman-Green-Interferometer-Sensor µPhase® ist mit identischer Bauformen für unterschiedliche Auflösungen erhältlich und kann in Ihrem Messaufbau integriert werden.
µPhase® VERTICAL 3
Vielseitig
Hochflexibles und voll ausgestattetes Interferometersystem für Fertigung, Werkstatt und Labor.
µPhase® VERTICAL PRO
Automatisierung
Mit seinem Tray kann das µPhase® VERTICAL PRO 20 bis 30 Prüflinge automatisiert vermessen.
µPhase® PLANO DOWN
Kompakter Aufbau
µPhase® PLANO DOWN eignet sich mit seinem kompakten Aufbau für die Messung planer Komponenten in Forschung und Entwicklung sowie in der Produktion.
µPhase® PLANO UP
Planlinsen in der Produktion
Für die kosteneffektive Qualitätskontrolle von optischen Planflächen in der Produktion ist das µPhase® PLANO UP die perfekte Wahl.
µPhase® SPHERO UP
Sphären in der Produktion
Sphärischer Oberflächen lassen sich in der Produktion schnell und kosteneffektiv mit dem µPhase® SPHERO UP kontrollieren.
µPhase® ST/ST+R
Flexibel und kosteneffektiv
Das µPhase® ST/ST+R kann in Forschung und Entwicklung sowie in der Produktion flexible und kosteneffektiv eingesetzt werden.
µPhase® UNIVERSAL
Höchste Variabilität
Der universelle Aufbau und die modularen Vorrichtungen des µPhase® UNIVERSAL bieten höchste Variabilität für Forschung und Entwicklung.
µPhase® Customized Solutions
Kundenspezifische Lösungen
Das µPhase® ist aufgrund seines modularen Aufbaus und des kompakten Designs ein äußerst vielseitiges Interferometer – auch für besondere Anforderungen.
Anwendungen
Unsere µPhase® Interferometer ermöglichen folgende Messungen und Anwendungen:
- Messung planer, sphärischer, zylindrischer, torischer und asphärischer Oberflächen in Reflexion
- Messung des absoluten Radius von sphärischen, torischen und asphärischen Linsen
- Prüfung adaptiver Spiegel
- Messung der Wellenfrontdeformation von transparenten Prüflingen
- Messungen von Kontaktlinsen und Formwerkzeugen
- Schnelle Offline- oder Online-Messung des Tool-Offsets von ultrapräzisen Diamantdrehmaschinen nach dem Werkzeugwechsel
- Prüfung zahlreicher hochpräziser nicht-optischer Komponenten
- Anwendungen im Automobilsektor
- Medizinische Anwendungen
Software
µShape
Interferometer Software
Mit der Software µShape in der aktuellen Version 8 ist das µPhase® optimal für den Einsatz sowohl in der Produktion als auch in Forschung und Entwicklung gerüstet. Die Software steuert die Messung, stellt umfangreiche Analysemöglichkeiten zur Verfügung und bietet eine vollständige Dokumentation. Messvorlagen bieten maximale Transparenz über den Messprozess und erlauben ein schnelles Erfassen der Prüfergebnisse.
Die klar strukturierte, menü-basierte Benutzeroberfläche von µShape wird dabei immer dem umfassenden Einsatz des µPhase® gerecht und lässt sich über die verfügbaren Module in unterschiedlichster Weise erweitern. Diese Module können jederzeit, auch noch nach Kauf des µPhase®-Systems, ergänzt werden.
Die µShape Software ist primär für den Betrieb des µPhase® entwickelt worden, kann aber auch zum Betrieb von Labor- und Werkstattinterferometern anderer Anbieter genutzt werden. Die Entwicklung von kundenspezifischen Funktionen ist möglich.
- Mehrere Zugangslevel bieten benutzerspezifische Zugriffsmöglichkeiten, vom Administrator bis zum Anwender in der Produktion
- Umfassende, kontextspezifische Direkt-Hilfe
- Einfache Bedienung und Verringerung des Schulungsbedarfs der Nutzer durch leicht vorkonfigurierbare Vorlagen für jede Art von Messaufgabe und Auswertung
- Komfortable Reanalyse-Option gespeicherter Messungen ohne Neumessung
- Einfache Speicherung von Grafiken in verschiedenen Grafikformaten (bmp, jpg, etc.)
- Schneller Daten-Export einzelner Parameter oder ausgewählter Datenfelder als Textdatei, Binärdatei oder anderen gebräuchlichen Dateiformaten (z. B. QED, Zygo XYZ, DigitalSurf, INT) zur externen Verarbeitung
- MetroPro-kompatibles Dateiformat, erweitert um Beispielparameter aus der Aufgabenbeschreibung
- Ein zusätzlicher 2-dimensionaler polynomischer Fit als Anpassungs-Fit
- Das Messprotokoll bietet eine übersichtliche Gesamtdarstellung der Ergebnisse und lässt sich vielseitig konfigurieren, inkl. Kunden-Logo
- Übersichtliche Aufbereitung der Programm-Modi durch die separate Visualisierung von Kalibrier- und Messprozessen
- Umfassende Darstellung der Messparameter als Messwert, in grafischen 2D- bzw. 3D- und freiwählbaren Schnitt-Grafiken (1D) einschließlich des integrierten Live-Kamerabildes
- Schnelle Messung von sich wiederholenden Teilen durch Speicherung sämtlicher Parameter und Einstellungen, einschließlich Fenstergröße und ‑position, mit Muster-Daten in einer µShape™-Programmdatei
- Flexible und benutzerdefinierte Bildschirmanzeige, die sich an jeder Monitorgröße anpasst
- Live-Bild: Anzeige auf dem 2. Bildschirm als zusätzliches Fenster
- Immer auf dem aktuellen Stand der Technik durch kontinuierliche Weiterentwicklung mit regelmäßigen Updates – auf Anfrage oder als Software-Flatrate
- Vollständig kompatibel mit Windows 10 (64-Bit- und 32-Bit-Systeme)
„Aspheres“: Asphärenanalyse in sphärischen bzw. CGH-Setups
- Das Asphären-Modul ermöglicht die Auswertung starker Asphären in einem asphärischen Setup mithilfe eines computergenerierten Hologramms (CGH) sowie schwacher Asphären in sphärischen Setups. Die Beschreibung der Asphäre kann eingegeben und gespeichert werden. Dabei werden verschiedene Formate (rotationssymmetrisch) unterstützt. Verbleibende Justierfehler sowie systematische Setup-Fehler werden durch eine asphärischen Justagefit kompensiert
„Cylinder“: Zylinderanalyse
- Das Zylinder-Modul analysiert zylindrische Prüflinge in einem zylindrischen Setup (mit CGH). Verbleibende Justagefehler werden durch einen zylindrischen Justagefit entfernt.
„Extern Interface“: Externe Kommunikationsschnittstelle
- Das externe Schnittstellen-Modul ermöglicht die Kommunikation zwischen µShape™ und externer Software wie LabVIEW™ zur Steuerung des Interferometers durch externe Programme, z. B. innerhalb eines automatisierten Systems
„FastFringe“: Statische Streifenanalyse
- Dieses Modul ermöglicht die Auswertung eines einzelnen Interferogramms für Messungen in instabilen Umgebungen oder mit Interferometern ohne Phasenschiebeeinheit.
„Fiber connector“: Glasfaserstecker-Analyse
- Die Glasfaserstecker-Erweiterung ermöglicht die Auswertung der Endflächen von Glasfaser-Anschlüssen des Typs PC (Physical Contact = Körperkontakt) gemäß internationaler IEC-Konvention. Die Hauptparameter werden mit nur einer Messung erhoben und optional mit Gut/Schlecht-Auswertung angezeigt.
„Homogeneity“: Messung der Homogenität transparenter Prüflinge
- In einem separaten Programmmodus können beide den optischen Weg durch den Prüfling beeinflussenden Aspekte, d. h. die Homogenität (Variation des Brechungsindexes) einerseits und die Dickenvariation anderseits, bestimmt werden.
„Math Mode“: Mathematikmode
- Dieser Programm-Modus erlaubt es, unterschiedliche Datenzuordnungen in Kombination mit mathematischen Berechnungen zu einer zusätzlichen Ergebniszuordnung auszuwerten. Matrix-Berechnungen sind nicht möglich.
„Multiple apertures“: Analyse mehrerer-Teilflächen in einer Messung
- Dieses Modul ermöglicht die gemeinsame Messung und Analyse von nicht miteinander verbundenen Einzelaperturen innerhalb eines Sichtfelds, z. B. für die Messung von Prüflingen auf Polierköpfen.
Die Messbarkeit mehrerer Einzelaperturen ermöglicht auch eine Keilwinkel-Analyse. Mit diese Analyse können der Keilwinkel planer Spiegel sowie der optische Keil planer Übertragungsplatten in einem Arbeitsschritt bestimmt werden.
„Multiple statistics“: Identische Statistik-Analyse auf mehreren Teil-Aperturen
- Sind in der Prüflingsspezifikation unterschiedliche Werte für verschiedene Teilbereiche desselben Prüflings definiert worden, ermöglicht das MultiStat-Modul die identische Auswertung aller Bereiche innerhalb einer einzigen Messung. Die Ergebnisse für die einzelnen Bereiche werden separat ausgegeben.
„MTF/PSF“: MTF-Analyse
- Im Bereich der Optik wird die MTF verwendet, um die Qualität optischer Systeme zu beschreiben. Das Modul ermöglicht die Bestimmung der MTF fokaler bzw. afokaler optischer Bauteile und Systeme.
„Prisms“: Prismen-Analyse
- Winkelfehler an 90°- und Tripelprismen können interferometrisch gemessen werden, indem die durch Winkelabweichung an 90°- bzw. 0°-Zielwinkeln beobachteten Interferenzmuster ausgewertet werden.
„Roughness/PSD”: Analyse von Rauheit und PSD
- Mithilfe dieses Moduls können sowohl die Power Spectral Density (PSD) als auch Rauhheitsparameter auf frei definierbaren geraden Schnitten bestimmt werden.
„Sample Normal Data“: Berücksichtigung bekannter Prüflingsabweichungen
- Die Verwendung von Prüflingsdaten (Sample Normal Data – SND) ermöglicht es, zusätzliche Fehler des Prüflings während der Prüfung zu berücksichtigen, z. B. Abweichungen aufgrund der optischen Konstruktion (konstruktionsbedingte Nennwerte)
Technische Daten
Parameter | µPhase® PLANO DOWN | µPhase® PLANO UP | µPhase® SPHERO UP | µPhase® ST / ST+R | µPhase® VERTICAL 3 | µPhase® VERTICAL PRO | µPhase® UNIVERSAL |
---|---|---|---|---|---|---|---|
Benutzung | Produktion | Produktion | Produktion | R&D, Produktion | R&D, Produktion | Produktion Messung in Batches | R&D |
Prüflingstyp | Plan | Plan | Sphärisch | Plan Sphärisch | Plan Sphärisch Torisch Asphärisch | Sphärisch Torisch Asphärisch | Plan Sphärisch Torisch Asphärisch Zylindrisch |
Prüflingsgröße (Messbereich) | Verschiedene Version bis max. Ø 150 mm | Verschiedene Versionen bis max. Ø 150 mm | Max. Ø 50 mm Prüflingsgröße abhängig von Messobjektiv | Max. Ø 50 mm Prüflingsgröße abhängig von Messobjektiv | Max. Ø 100 mm Prüflingsgröße abhängig von Messobjektiv | Optimal für kleine Durchmesser | Max. Ø 100 mm Prüflingsgröße abhängig von Messobjektiv |
Max. Prüflingsgewicht | 5 kg | 1,5 kg (abhängig von Konfiguration) | 1,5 kg (abhängig von Konfiguration) | 1,5 kg | 1,5 kg | 1,5 kg | 1,5 kg |
Justierelemente | Manuelle Kippung | Manuelle Kippung | Manuelle XY-Justage, Kipptisch und z-Fokussierung (wenige mm) | Manuelle XY-Justage, Kipptisch und z-Fokussierung | Manueller Kipptisch Manueller XY-Tisch Motorisierte, PC-gesteuerte Z-Achse | Motorisierte, PC-gesteuerte X/Y/Z-Achse | Manueller Kipptisch Manueller XY-Tisch Manuelle Z-Achse |
Prüfbereich Radienmessung | Nicht verfügbar | Nicht verfügbar | Typischerweise 10 mm ... 200 mm Relative Radiusmessung im Vergleich gegen ein Radiennormal, Bereich abhängig von Prüfobjektiv und Halter | Ca. 220 mm Absolute Radiusmessung mit Messtaster (analog oder digital) | 300 mm bis 500 mm abhängig von der Testoptik integrierte, automatisierte absolute Radiusmessung | Max. 50 mm integrierte, automatisierte absolute Radiusmessung | Bis zu 2 m, abhängig von Prüfobjektiv und Länge der Radienmessschiene integrierte absolute Radiusmessung Für lange Radien geeignet |
Genauigkeit Radienmessung | Abhängig von der Genauigkeit des Radiennormals | Abhängig vom Längenmesstaster: 0,5-5 µm | 5 µm gesamt 2 µm innerhalb 10 cm Mit zusätzlichen Längenmesstaster bis zu 0,1 µm | ±0,1 µm | 30 µm | ||
Abmessungen (H x B x T) | Grundfläche: S: 300 x 300 mm² (freie Arbeitsfläche 180 x 180 mm²) L: 440 x 440 mm² (freie Arbeitsfläche 330 x 330 mm²) Freie Arbeitshöhe: 110 mm/ 155 mm / 200 mm | 500 x 200 x 200 mm³ | 500 x 200 x 200 mm³ | 500 x 300 x 400 mm³ Verfahrbereich zwischen 160 mm ... 300 mm³ (abhängig von Konfiguration) | 780 x 350 x 422 mm³ | 350 x 530 x 750 mm³ | 500 x 2500 x 400 mm³ (Breite abhängig von der Länge der Radienmessschiene) |
Gewicht | S: 25 kg L: 45 kg | 5 kg ... 20 kg (abhängig von der Konfiguration) | 5 kg ... 20 kg (abhängig von der Konfiguration) | 20 kg | 60 kg | 100 kg | 30 kg (abhängig von Konfiguration) |
Typ | Tischgerät | Tischgerät | Tischgerät | Tischgerät | Tischgerät | Tischgerät | Tischgerät |
Optionale Messmöglichkeiten | Transmissionsmessung | Mit Add-ons z.B. Multiple apertures, Waver, Tool offset Transmissionsmessungen | CGH Halterung für die Messung von Asphären, Cylinder oder torischen Oberflächen Mit Add-ons z.B. Multiple apertures, Waver, Tool offset Transmissionsmessungen |
Technische Daten µPhase® Sensor
Parameter | µPhase® 3.1 | µPhase® 3.2 | µPhase® 3.3 | µPhase® 3.3 (FIZ) |
---|---|---|---|---|
Kameraauflösung | 608 x 608 Pixel | 1216 x 1216 Pixel | 1216 x 1216 Pixel | 1216 x 1216 Pixel |
Reflexionseinstellungen | feste Einstellungen, geeignet für 4 % … 80 % | feste Einstellungen, geeignet für 4 % … 80 % | 0.5 %, 1 %, 4 %, 80 % | 0.0 %, 1 %, 4 %, 80 % |
Messwellenlänge | 632.8 nm andere auf Anfrage | 632.8 nm, andere auf Anfrage | 632.8 nm, andere auf Anfrage | 632.8 nm, andere auf Anfrage |
Fokussiermöglichkeit | Nein | Nein | Ja | Ja |
Abmessungen (H x B x T) | 121 mm x 97 mm x 57 mm | 121 mm x 97 mm x 57 mm | 121 mm x 97 mm x 57 mm | 121 mm x 97 mm x 57 mm |
Gewicht | 1,1 kg | 1,1 kg | 1,1 kg | 1,1 kg |
Typ | Twyman-Green-Interferometer mit Phasenverschiebung | Twyman-Green-Interferometer mit Phasenverschiebung | Twyman-Green-Interferometer mit Phasenverschiebung | Twyman-Green-Interferometer mit Phasenverschiebung Konvertierbar zur Fizeau-Messmethode |
PV Wiederholgenauigkeit | λ/400 | λ/400 | λ/400 | λ/400 |
RMS Wiederholgenauigkeit | λ/1200 | λ/6500 | λ/6500 | λ/6500 |
Messungenauigkeit mit PC/unterstützter Auswertung | λ/20 andere auf Anfrage | λ/20 andere auf Anfrage | λ/20 andere auf Anfrage | λ/20 andere auf Anfrage |
Upgrades & Zubehör
- Upgrade des µPhase® Sensors von µPhase® 3.1 auf µPhase®3.3 für eine Erhöhung der Kameraauflösung von 608 x 608 Pixel auf 1216 x 1216 Pixel
- Horizontal- oder Vertikal-Stative
Die µPhase®-Grundgeräte und die Planobjektive verfügen über einen Bajonettanschluss, der einen schnellen und leichten Wechsel zwischen verschiedenen Systemaufbauten ermöglicht. - Plane und sphärische Kalibrierflächen in verschiedenen Durchmessern
- Unbeschichtet
- Verspiegelt
- Lizenz für die Offlineanalyse und Dokumentation an Büroarbeitsplätzen ohne direkten Zugriff auf die µPhase®-Hardware
µPhase® 3 XL mit verschiedenen Wellenlängen
Das bewährte und hoch integrierte phasenschiebende Interferometer µPhase® 3 XL ist für den Gebrauch mit verschiedenen Wellenlängen modifizierbar:
- unterstützt blaue, grüne und infrarote Lichtquellen
- derzeit 405, 532 und 1064nm, andere Wellenlängen auf Anfrage
- Standard Version von 633nm
- Reflektionsanpassung und Fokussierbarkeit in der Objektebene für alle Wellenlängen
- gleiche mechanische Abmessungen und Schnittstellen des Sensors für alle Wellenlängen
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µLens SPHERO Objektive in Kombination mit der µLens SPHERO 10 |
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µLens SPHERO Objektive in Kombination mit der µLens SPHERO 50 |
Partnerschaft mit InterOptics
Unsere exklusive Partnerschaft mit der Firma InterOptics, LLC bietet zusätzliche Möglichkeiten. So vermarkten wir in Deutschland und ausgewählten Ländern neben unserem µPhase® auch das Interferometer OptoFlat – einen ausgesprochenen Spezialisten für Planoptiken.
OptoFlat
Spezialist für Planoptiken
Das Kurzkohärenzinterferometer OptoFlat ist spezialisiert auf die Messung von planen Optiken.
Knowledge Base
Interferometer
Twyman-Green-Aufbau
Der flexibelste Interferometer-Aufbau
Ein Twyman-Green-Interferometer ist ein modifiziertes Michelson-Interferometer. Hier ist der Strahlteiler von der Bezugsfläche getrennt. Der Vorteil dieser Konfiguration besteht in größerer Flexibilität, weil beide Interferometerarme unabhängig voneinander eingestellt werden können. Die Intensitäten von Bezugsarm und Prüfarm können also problemlos aneinander angepasst werden, um maximalen Streifenkontrast zu erzielen. Nur ein maximaler Streifenkontrast ermöglicht eine maximale Auflösung in der Tiefe. Diese Kontrastanpassung erlaubt das Messen von Prüflingen mit unterschiedlichen Reflexionsgraden mit maximalem Kontrast und erweitert das Anwendungsspektrum ganz erheblich. Die Bezugsfläche kann eine Oberfläche sein, die kostengünstig und unabhängig von der Prüflingsgröße ist. Die Anpassung an die Prüflingsgröße wird durch Anordnung konventioneller Strahlformungsoptik im Prüfarm erzielt. Im Gegensatz zu der Strahlformungsoptik, die in Fizeau-Interferometern verwendet wird, benötigt diese Optik keine teure Fizeau-Oberfläche als letzte Oberfläche.
Infolge dieser Flexibilität werden die Interferenzmuster nicht nur durch die Prüflingsfehler verursacht, sondern auch durch Aberrationen zusätzlicher Optiken in den Interferometerarmen hervorgerufen. Da Prüflinge heute jedoch i. A. nicht mehr anhand visueller Interferenzstreifenmustersbewertung analysiert, sondern durch computergestützte Phasenanalyse bewertet werden, können die Aberrationen der zusätzlichen Optik leicht bei dieser Analyse berücksichtigt werden. Schließlich liefert die Software ein objektives digitales Messergebnis.
Mehr Wissen für Experten
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Fizeau Interferometer für Wellenfront- und Oberflächenmessungen
Fizeau-Aufbau
Der am häufigsten verwendete Interferometer-Aufbau
Die letzte Fläche der Interferometeroptik wird als Fizeau-Oberfläche bezeichnet. Sie muss die gleiche Form haben wie der zu messende Prüfling (im Allgemeinen sphärisch oder plan) und ist konzentrisch im optischen Strahlengang platziert, sodass die einzelnen Strahlen die Fizeau-Oberfläche im rechten Winkel durchsetzen. Der größte Teil des Lichts geht durch die Fizeau-Oberfläche und wird an der Prüflingsfläche reflektiert. Dabei wird der Prüflingsflächenfehler als Phasenabweichung der Prüfwellenfront aufgeprägt. Das zurückgeworfene Licht interferiert mit dem Teil des Lichts, der an der Fizeau-Oberfläche reflektiert wurde. Die Fizeau-Oberfläche wirkt also sowohl als Strahlteiler wie auch als Bezugsfläche. Die Kavität, die durch die Fizeau-Ober- und die Prüffläche gebildet wird, enthält somit keine zusätzlichen optischen Elemente, die die Interferenz verfälschen. Dies ist der Grund, warum ein Fizeau-Interferogramm normalerweise die Abweichung des Prüflings von der Bezugsfläche, d. h. der Fizeau-Oberfläche direkt zeigt. Die Qualität der Fizeau-Oberfläche bestimmt die Genauigkeit des Fizeau-Interferometers. Fizeau-Oberflächen stehen gebräuchlicherweise mit einer Qualität von λ/10 – λ/20 PV zur Verfügung, höhere Güten sind auf Anfrage erhältlich.