ImageMaster®
PRO 5 Wafer
Optischer Aufbau Endliche und unendliche Objektentfernung
Max. Ortsfrequenz 400 Lp/mm
Genauigkeit MTF auf der Achse 1.5 % MTF
Genauigkeit MTF außeraxial 2.5 % MTF
Genauigkeit EFL
(effektive Brennweite)
5 µm
Genauigkeit FFL
(Anlagemaß)
4 µm
Mindestmesszeit 1,0 Sek./Prüfling
Durchschnittliche Messzeit 2,5 Sek./Prüfling
Abmessungen
(Höhe x Breite x Tiefe)
1350 mm x 1330 mm x 675 mm
Gewicht 210 kg
Prüflingshalter Wafer-Tray
Reinraumklasse FS 209 / ISO 14644-1 100 / ISO 5