MTF-PRO Software für die MTF-Messung optischer Wafer-Level-Optiken

Die unter dem Namen MTF-PRO bekannte und weithin geschätzte Software für den ImageMaster® PRO wurde nochmals verbessert. Die neue Version ist schneller, leistungsstärker und überzeugt durch eine klare Darstellung der Prüfergebnisse. Die optimierten MTF-Algorithmen sind das Ergebnis kontinuierlicher Verbesserungsprozesse und der Erfahrung, die TRIOPTICS im Bereich MTF-Messungen über die Jahre gesammelt hat. Für die Messung von Wafer-Optiken kann der Anwender auf ein Spezialtool für die Ausrichtung des Wafers zurückgreifen.

Vorteile

  • Erkennen von Wafer-Markierungen und Steuern der Wafer-Ausrichtung
  • Erstellen eines Wafer-abhängigen Fadenkreuzes
  • Integration eines optischen Sensors zur Messung der Wafer-Durchbiegung und für höchste Genauigkeit des Auflagemaßes (FFL)
  • Mapping des Wafers, um die Abmessungen der Distanzstücke zu bestimmen
  • Scan-Algorithmen für den Ausgleich der Durchbiegung
  • Erstellung geeigneter Masken für die Wafer-Prüfung