µShapeTM Interferometer Software

Exemplarischer Screenshot der µShapeTM-Oberfläche
Exemplarischer Screenshot der µShapeTM-Oberfläche

Jedes μPhase® Interferometer wird mit einer anwendungsorientierten μShape™ Software-Version ausgeliefert. Verwendet wird diese, um die Topographie planer, sphärischer, zylindrischer, torischer und asphärischer Oberflächen bzw. Wellenfronten zu messen. Zu den Einsatzbereichen zählen Fertigung, Labor und Forschung. Mithilfe von Erweiterungsmodulen lässt sich die Software den spezifischen Anforderungen des Kunden anpassen. Diese Module können jederzeit hinzugefügt werden, auch noch nach Kauf des µPhase®-Systems. 

Über die Software werden Messergebnisse kontrolliert und angezeigt, sämtliche nicht aufbereiteten Daten gespeichert und dokumentiert und maximale Transparenz und Rückführbarkeit sichergestellt.

Die klar strukturierte, menü-basierte Benutzeroberfläche von μShape™ ermöglicht einen äußerst vielfältigen Einsatz und lässt sich über die verfügbaren Module in unterschiedlichster Weise erweitern.

Vorteile

Mehrfach-Aperturen Erweiterung
Mehrfach-Aperturen Erweiterung
  • Verschiedene Benutzerebenen mit unterschiedlichen Zugriffsrechten
  • Umfassende kontextspezifische Online-Hilfe
  • Leicht vorkonfigurierbare Vorlagen für jede Art von Messaufgabe und Auswertung
  • Grafikfenster können in verschiedenen Grafikformaten (bmp, jpg ...) gespeichert werden
  • Export einzelner Parameter oder ausgewählter Datenfelder als Text- oder Binärdatei bzw. in anderen gebräuchlichen Dateiformaten (z. B. QED, Zygo XYZ, DigitalSurf) für externe Verarbeitung
  • Messergebnisse werden als Parameter oder grafisch als 2D- bzw. 3D-Querschnitt dargestellt
  • Das Messprotokoll bietet eine übersichtliche Gesamtdarstellung der Ergebnisse und lässt sich vielseitig konfigurieren, inkl. Kunden-Logo
  • Tastenkombinationen für die am häufigsten verwendeten Programmfunktionen
  • Verschiedene Programm-Modi ermöglichen die separate Visualisierung von Kalibrierungs- und Messprozessen sowie deren Parameter, einschließlich integriertem Live-Kamerabild
  • Speicherung sämtlicher Parameter und Einstellungen, einschließlich Fenstergröße und -position, mit Muster-Daten in eine μShape™-Programmdatei
  • Kontinuierliche Weiterentwicklung mit regelmäßigen Updates – auf Anfrage oder als Software-Flatrate angeboten

Erweiterungsmodule:

Um anspruchsvolleren Messungen und tiefgreifenderen Auswertungsanforderungen gerecht zu werden, lässt sich die μShapeTM-Software durch eine Vielzahl von Modulen durch den Benutzer individuell erweitern. Hierzu zählen:

  • Analyse asphärischer Oberflächen in sphärischen bzw. CGH-Setups
  • Analyse zylindrischer bzw. torischer Oberflächen
  • Externe Kommunikationsschnittstelle zur Steuerung des Interferometers durch externe Programme, z. B. innerhalb eines automatisierten Systems
  • Messung der Homogenität von Glasplatten
  • MTF-Analyse fokaler bzw. afokaler optischer Bauteile und Systeme
  • Messung von Mehrfach-Aperturen in einem Arbeitsschritt, z. B. bei Polierköpfen
  • Statistische Auswertung mehrerer Sub-Aperturen gleichzeitig
  • Prisma- und Keilmessung und -Analyse
  • Berücksichtigung bekannter Prüflingsabweichungen, z. B. Abweichungen aufgrund der optischen Konstruktion
  • Analyse der Werkzeugkorrektur von Drehmaschinen
  • Analyse von Wafer-Platten
  • Analyse von Rauheit und PSD
  • Statische Streifenanalyse für schnelle Messungen in instabilen Umgebungen

Software-Erweiterungen:

Asphärenanalyse

Das Asphäre-Modul ermöglicht die Auswertung rotationssymmetrischer starker Asphären in einem asphärischen Setup mithilfe eines computergenerierten Hologramms (CGH) sowie schwächerer Asphären in sphärischen Setups. Die Beschreibung der Asphäre kann eingegeben und gespeichert werden; es werden verschiedene Formate unterstützt. Verbleibende Anpassungsfehler sowie systematische Fehler werden durch eine asphärische Anpassung ausgeglichen.

Zylinderanalyse

Das Zylinder-Modul analysiert zylindrische Prüflinge in einem zylindrischen Setup (mit CGH). Verbleibende Anpassungsfehler werden durch eine zylindrische Anpassung ausgeglichen.

Externe Schnittstelle

Das externe Schnittstellen-Modul ermöglicht die Kommunikation zwischen µShape und externer Software wie LabVIEW™.

Glasfaser-Anschluss

Die Glasfaser-Anschluss-Erweiterung ermöglicht die Auswertung der Endflächen von Glasfaser-Anschlüssen des Typs PC (Physical Contact = Körperkontakt) gemäß internationaler IEC-Konvention. Die Hauptparameter werden mit nur einer Messung erhoben und optional mit „i.O./n.i.O.“-Auswertung angezeigt.

Homogenität

In diesem Programmmodus können beide den optischen Weg durch den Prüfling beeinflussenden Aspekte, d. h. die Homogenität (Variation des Brechungsindexes) einerseits und die Dickenvariation anderseits, bestimmt werden.

Seitliches Stitching

Unter Verwendung des externen Steuerungs- und Auswertungsprogramms µStitch kann Ihr Interferometer plane oder sphärische Prüflinge größeren Umfangs in Sub-Aperturen messen und diese mithilfe des Stitching-Verfahrens so zusammenführen, dass die Topographiedaten der gesamten Oberfläche erhoben werden. Eine Schnittstelle zu seitlichen Positioniersystemen ist auf Anfrage erhältlich. 

Math Mode

Dieser Programm-Modus erlaubt es, unterschiedliche Datenzuordnungen in Kombination mit mathematischen Berechnungen zu einer zusätzlichen Ergebniszuordnung auszuwerten. Matrix-Berechnungen sind nicht möglich.

MTF-/PSF-Analyse

Im Bereich der Optik wird die MTF weithin verwendet, um die Qualität optischer Systeme zu beschreiben.

Mehrfach-Apertur-Analyse

Dieses Modul ermöglicht die gemeinsame Messung und Analyse von nicht miteinander verbundenen Sub-Aperturen innerhalb eines Sichtfelds, z. B. für die Messung von Komponenten, die auf Polierköpfen befestigt sind.

Mehrfach-Statistik-Analyse

Sind in der Prüflingsspezifikation unterschiedliche Grenzwerte für verschiedene Teilbereiche desselben Prüflings definiert worden, ermöglicht das MultiStat-Modul die Berechnung aller Bereiche innerhalb einer einzigen Messung. Die Ergebnisse für die einzelnen Bereich werden separat ausgegeben.

MultiPart-Analyse

In der MultiPart-Analyse werden Mehrfach-Aperturen mit Mehrfach-Statistiken entweder per automatische Erkennung aller nicht verbundenen Bereiche oder durch manuelle Festlegung von bis zu 10 verschiedenen Bereichen miteinander kombiniert.

Prismen-Analyse

Winkelfehler von 90°- und Tripelprismen sowie der Winkel der Keile können interferometrisch gemessen werden, indem die durch die Winkelabweichung vom 90°- bzw. 0°-Zielwinkel beobachteten Interferenzmuster ausgewertet werden. 

Prüflingsnormale

Die Verwendung von Prüflingsnormalen (Sample Normal Data (SND) ermöglicht es, zusätzliche Fehler des Prüflings zu bestimmen und während der Prüfung zu berücksichtigen, z. B. konstruktionsbedingte Nennwerte.

Werkzeugkorrektur

Die Werkzeugkorrektur-Berechnung wird in der µShape-Software verwendet, um Justagefehler von Drehmaschinen zu kompensieren.

Wafer

Mithilfe der Wafer-Analyse können Sie eine kreisförmige Apertur in rechteckige Bereiche beliebiger Größe unterteilen und jeden Unterbereich durch den arithmetischen Mittelwert bzw. SFQR-Wert (Site Front-side Least Squares Focal Plane Range) bestimmen.

Torus-Analyse

Mithilfe der Torus-Software-Erweiterung lassen sich torische Prüflinge in einem torischen oder sphärischen Setup analysieren. Verbleibende Anpassungsfehler werden durch eine torische Anpassung ausgeglichen. Sehr nützlich für die Messung von Kontaktlinsen und Formwerkzeugen.

Keil-Analyse

Mithilfe der Keil-Analyse können der Keilwinkel planer Spiegel sowie der optische Keil planer Übertragungsplatten mit einem zusätzlichen Spiegel hinter dem zu prüfenden Objekt in einem Arbeitsschritt bestimmt werden.

Kundenspezifische Software

Sämtliche Funktionen der TRIOPTICS-Interferometrie-Software werden im eigenen Haus entwickelt. Dadurch können kundenspezifische Messverfahren, die Berechnung unternehmensspezifischer Parameter oder besondere Anforderungen an die Darstellung und Ausgabe von Daten berücksichtigt und auf Wunsch integriert werden. Beschreiben Sie Ihre spezifischen Anforderungen Ihrem µPhase®-Vertriebspartner vor Ort.