OptiCentric^® MAX

Das OptiCentric^® MAX ist eine Weiterentwicklung des OptiCentric^® MOT 300 Instruments. Es wurde konstruiert, um extrem große und schwere Optiken zu vermessen und auch zu montieren. Eingesetzt wird das Instrument beispielsweise in der Justage von Wafer-Stepperoptiken.

OptiCentric^® MAX ist in zwei Versionen verfügbar, die sich in der Messgenauigkeit und dem zulässigen Prüflingsgewicht unterscheiden. Zusätzlich können die Instrumente kundenspezifisch angepasst werden.

OptiCentric^® MAX 300

Das OptiCentric^® MAX 300 Instrument besteht aus einem vibrationsgedämpften optischen Tisch, einem Luftlager der Reihe AB300 und einem Messkopf, der auf Wälzkörpern gelagert und an einer Linearführung befestigt ist. Die Position des Messkopfs wird über ein Closed-Loop-System geregelt, so dass auch Radien- und Abstandsmessungen mit einer guten Genauigkeit durchgeführt werden können.

Mit einer maximalen axialen Last von bis zu 500 kg und einer freien Höhe von bis zu 1600 mm kann das OptiCentric^® MAX nahezu alle Optiken vermessen. Eine Ausführung mit einem dualen Messkopf ist möglich, der Verfahrweg der unteren Achse beträgt 250 mm.

Optiken mit einem Gewicht von bis zu 500kg werden direkt auf dem Luftlager positioniert. Es steht kein Translations-Kipptisch (TRT) zur Verfügung, der bei OptiCentric^® MOT 300 die Montage komplexer Optiken ermöglicht. Als Ersatz ermittelt ein Messtaster oder ein kontaktloser Sensors die Dezentrierung der Fassungen oder des Gehäuses zur Rotationsachse. Aus den Messdaten wird die mechanische Referenzachse der Fassung kalkuliert und mit der Referenzachse des Luftlagers verglichen. Die Zentrierfehler der einzelnen Linsenelemente, die bereits in Bezug auf die Achse des Luftlagers errechnet wurden, können nun in Bezug auf die mechanische Achse der Fassung umgerechnet werden.

Mit Hilfe der ermittelten Zentrierdaten wird die Linse ausgerichtet und dann gekittet oder verklebt. Hierfür steht ein Ausricht- und Montagemodul zur Verfügung, auf dem die Piezosteller, der Klebedispenser und die UV-Lampe angebracht sind.

Das Modul wird an der vertikalen Führung des OptiCentric^® MAX Instruments befestigt. Damit ist sichergestellt, dass das Ausrichtmodul genauso präzise gelagert ist wie der Messkopf. Das OptiCentric^® MAX 300 positioniert die Linsen mit einer Genauigkeit von 1 bis 3 μm.